半導體工業(yè)空氣過(guò)濾器
粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。當今，半導體工業(yè)(芯片廠(chǎng))對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈程度最挑剔，對空氣過(guò)濾器的要求也最苛刻。
芯片廠(chǎng)傳統的通風(fēng)形式是“大循壞”，車(chē)間的整個(gè)頂棚上布滿(mǎn)高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?，F在芯片廠(chǎng)有些車(chē)間使用自帶風(fēng)機的過(guò)濾裝置，即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度，只是在運行管理和能耗上有所差異。
當今的過(guò)濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零，你想要多干凈都能達到。當芯片上的線(xiàn)寬小到0.5m時(shí)，人們發(fā)現空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害，于足，在線(xiàn)寬小F0.5pm的芯片廠(chǎng)空調系統中普遍配置了化學(xué)過(guò)濾器?；瘜W(xué)過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復雜，它就是活性過(guò)濾器，但傳統的活性炭過(guò)濾器制造廠(chǎng)和軍工廠(chǎng)沒(méi)有搭上芯片廠(chǎng)這班車(chē)，芯片廠(chǎng)的化學(xué)過(guò)濾器大都足空調過(guò)濾器的制造廠(chǎng)家提供的。
半導體工業(yè)并非人們普遍認為的“無(wú)煙工業(yè)”，它也有壞境問(wèn)題。那里經(jīng)常采用最新的工藝和材料，有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)人量使用了，稍不小心就會(huì )造成嚴重的化學(xué)污染，既有地下水污染，也有空氣污染，體谷就曾為此付出過(guò)驚人的代價(jià)。為了保險，有些企業(yè)在排風(fēng)系統中也使用化學(xué)過(guò)濾器。
中國正處在新-輪芯片廠(chǎng)建設的狂熱中，為此，今后幾年國內需要數億元的高效過(guò)濾器和化學(xué)過(guò)濾器，如果國內過(guò)濾器商家像以往那樣只熱衷于抄襲、猜疑、各顧各地瞎忙活，不在技術(shù)上進(jìn)取、不相以交流，芯片廠(chǎng)這個(gè)難得的市場(chǎng)將屬于外來(lái)者。
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